Skaningowa Mikroskopia Elektronowa
Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy Apreo 2 S LoVac (Thermo Fisher Scientific) wyposażony w spektrometry dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego – detektory EDS: UltraDry (Thermo Fisher Scientific) oraz Octane Elect (EDAX Ametek GmbH).
Mikroskop Apreo 2 S LoVac został wyposażony w działo elektronowe z emisją polową Schottky’ego (Field Emission Scanning Electron Microscope – FESEM) umożliwiają wysokorozdzielczą analizę morfologii oraz analizę składu chemicznego. Posiada dwa zasadnicze tryby pracy: wysokiej i niskiej próżni (LoVac) umożliwiają badanie materiałów przewodzących (metale, stopy) oraz materiałów nieprzewodzących (materiały organiczne, ceramika, półprzewodniki).
Mikroskop posiada system deakcleracji wiązki elektronów oraz możliwość filtrowania energii elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), co pozwala zwiększyć kontrast fazowy elementów próbki oraz ograniczyć efekty ładowania dla próbek trudno przewodzących (polimery, preparaty biologiczne). Konstrukcja soczewek elektrostatycznych (Novel Field Emission Electron Optics) pozwala na pracę soczewki końcowej w wysokorozdzielczym trybie immersyjnym, jaki elektrostatycznym, przystosowanym także do badania próbek o charakterze magnetycznym.
Za sterowanie mikroskopem odpowiada system oprogramowania xT oraz oprogramowanie MAPS 3 pozwalające na automatyczne pozyskiwanie obrazów dużych powierzchni badanej próbki w bardzo wysokiej rozdzielczości.
Parametry mikroskopu
- napięcie przyspieszające: 200 V do 30 kV, możliwość redukcji energii elektronów do poziomu 20 eV
- prąd wiązki: 1 pA do 50 nA
- ciśnienia w trybie niskiej próżni w zakresie: 10 Pa – 500 Pa
- powiększenie: w zakresie od 40x – 1 000 000x dla próbki umieszczonej w eucentrycznej odległości roboczej (WD=10 mm)
Zdolność rozdzielcza
W trybie wysokiej próżni:
- 0,5 nm przy 15 kV z aktywnym trybem immersyjnym i spowalniania wiązki elektronowej
- 0,8 nm przy 500V z aktywnym trybem immersyjnym i spowalniania wiązki elektronowej
- 0,9 nm przy 1 kV z aktywnym trybem immersyjnym
- 1,2 nm przy 1kV
W trybie niskiej próżni:
- 1,2 nm przy 15 kV
- 1,8 nm przy 3 kV
Detektory
- detektor (Everharta-Thornleya) elektronów wtórnych do pracy w trybie wysokiej próżni
- detektor (LVD) elektronów wtórnych w trybie niskiej próżni
- wewnątrz-kolumnowy, potrójny układ detekcji (Trinity In-column Detection) elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych złożony z systemu 3 detektorów: T1 (BSE) w dolnej i T2 (SE) w górnej partii kolumny oraz trzeciego T3 (SE\BSE), umiejscowionego powyżej T2. Detektory umożliwiają uzyskanie informacji: T1 o kontraście materiałowym, T2 o topografii, T3 o cienkiej warstwie zewnętrznej badanej próbki
- czterosegmentowy detektor DBS (Directional Back Scatter) elektronów wstecznie rozproszonych umożliwiający selektywną detekcję elektronów emitowanych pod różnymi kątami
- detektor elektronów przechodzących STEM 3+ umożliwiający skanowanie transmisyjne obrazu w trybach: pola jasnego (BF), pola ciemnego (DF) i pola wysokich kątów (HADF). Detektor podzielony jest na segment pola jasnego, 4 koncentryczne segmenty pola ciemnego oraz 6 segmentów o wysokim kącie ciemnego pola, które można dowolnie aktywować lub dezaktywować
(Thermo Fisher Scientific)
Spektrometry dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego
- UltraDry (Thermo Fisher Scientific) detektor SSD o obszarze aktywnym 60 mm2 wyposażony w okienko Norvar i o rozdzielczości energetycznej 129 eV (dla linii Mn Kα) umożliwiający detekcję pierwiastków od Be. Detektor współpracuje z oprogramowaniem ColorSEM umożliwiającym wykonywanie analizy chemicznej z poziomu systemu xT. ColorSEM zapewnia oparte na kompozycji kolorowanie obrazu z automatyczną identyfikacją elementów oraz konwencjonalne funkcje systemów EDS.
- Octane Elect Plus (EDAX Ametek GmbH) detektor SSD o obszarze aktywnym 30 mm2 wyposażony w okienko z azotku krzemu (Si3N4) i rozdzielczości energetycznej 127 eV (dla linii Mn Kα) umożliwiający detekcję pierwiastków od linii Al L (73 eV). Detektor współpracuje z oprogramowaniem APEX Advanced.
Posiadany system SEM\EDS umożliwia analizę jakościową i ilościową w mikroobszarach próbek. Możliwe są analizy punktowe, liniowe oraz z obszaru (mapowanie).
Zainteresowanych wykonaniem badań prosimy o kontakt: wiitchlab@pk.edu.pl
Informacje (cennik) dla pracowników WIiTCh: SEM\EDS.
Informacje (cennik) dla jednostek PK: SEM\EDS.
Dane kontaktowe:
Wydziałowe Laboratorium Badawcze
ul. Warszawska 24, 31-155 Kraków
tel.: +48 12628-2779
e-mail: wiitchlab@pk.edu.pl
Informacje dla pracowników:
Zespół:
Poprzednie
Następne
